電鍍技術

離子鍍膜的特征體現在那些方面?

發布時間:2012年07月25日

離子鍍膜的特征體現在那些方面?

一種如權利要求l所要求的離子鍍膜裝置,其特征在于,還包括:

?用于在所述等離子束發生器中產生放電的放電電源;

?所述的輔助陽極具有一環形磁體和一環狀磁盒,該環形磁體與所述的坩堝同心,并設置在所述坩堝的上體的周圍;

?該環形磁體與所述的坩堝電氣上相互絕緣;

?該環狀磁盒與所述放電電源通過導電狀態控制裝置相連接;

?僅當基片上完全形成薄膜之后到在后續基片上開始形成薄膜之前一段時間內,該導電狀態控制裝置保持閉合。

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