電鍍技術

電弧型離子鍍裝置的夾持器是什么?

發布時間:2012年07月17日

 

電弧型離子鍍裝置的夾持器是什么?

 

    一種電弧型離子鍍裝置具有用于夾持基底的夾持器。該夾持器安裝在真空室中。傳輸彎管的一端連接于該真空室上以面對夾持器上的基底。該傳輸管具有方形或橢圓形界面。多個電弧蒸發源沿縱向Y布置在傳輸管的另一端。各個電弧蒸發源通過真空電弧放電容化陰極,從而產生含陰極材料的等離子體。用于形成沿傳輸管彎曲的磁場的磁性線圈布置在傳輸管的外周。由電弧蒸發源產生的等離子體通過磁場引導至真空室內的基底附近。

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